需求内容及合作目标:
(1)拟解决的技术(项目)问题
本项目主要是申请建设6英寸MEMS产品试制工艺线,以期解决MEMS数字检波器规模化生产的瓶颈,提升我国地震装备研发制造能力。同时利用申请建设的6英寸MEMS工艺线,进一步研发高精度MEMS惯性传感器,用于航天航空、战术和战略惯性制导系统(IMU)中,对我国航空航天和国防工业做出支持和贡献。
(2)预计解决的方向、方式
工艺线主要产品构想:具有自主知识产权的新型结构MEMS加速度传感器,包括X型、E型梁、梳齿状结构。这些新型结构的MEMS加速度传感器具有结构对称性好、高阶模态性能优异,低频响应好等特点,能有效消除应力和降低机械噪声,提高检测精确度和稳定性,可以有效抗动态冲击。
现有工作基础:
三门峡市成义电器有限公司成立于1996年10月,注册资金3000万元,总资产8600万元。是一家民营股份制企业,位于豫、晋、陕三省交界的明珠城市三门峡市工业园区,占地20亩。主要经营物探仪器的制造销售及租赁,自产产品进出口业务。拥有一支专业从事研制和生产石油物探产品的技术队伍,产品研发能力达到国内一流水准。产品制造方面拥有先进的加工、检测设备。